【A06】パワーモジュール実装材料(セラミックス)
SiCパワーモジュールで用いられる絶縁放熱基板用セラミックスの機能と信頼性の発現メカニズムと製造プロセス、および、セラミック基板材料開発の最前線について解説する。
多々見 純一(横国大)
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